3. virtuelles Kolloquium – 28.08.2024 ab 14 Uhr
1. Thema „Abluftreinigung“
14:00 Uhr:
Bernd Hansel – Rafflenbeul Anlagenbau GmbH
„Niedertemperatur-Plasmatechnik zur Abluftreinigung – Einsatzmöglichkeiten und Praxisanwendungen – Ein Überblick über 20 Jahre Erfahrungen mit der NTP-Technik“
14:30 Uhr:
Alexander Böddecker – Applied Electrodynamics and Plasma Technology, Ruhr-Universität Bochum
„Plasma-driven Conversion of Volatile Organic Compounds“
2. Thema: „Plasma, Surfaces and Materials“
15:00 Uhr:
Sven Zimmermann – Zentrum für Mikrotechnologien, TU Chemnitz
Arbeitstitel „Plasmas for Semiconductor Technologies“
15:30 Uhr:
Caroline Hain – EMPA, Dübendorf (Schweiz)
„Microwave Plasma-Assisted Reactive HiPIMS for Enhanced Thin Film Deposition Control“